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HLM-VF250
特長
- ロールtoロールタイプで、フレキ用に適しています。
- 高真空化で安定したラミネートができます。
仕様
| 基板寸法 | 幅 mm | 150〜250 |
|---|---|---|
| 外径 mm | Φ450最大(リール外径) | |
| 内径 mm | 3in(チャック内径) | |
| ドライフィルム | 基材厚 mm | 0.035〜0.27 |
| 幅 mm | 140〜250 | |
| フォトレジスト厚 μm | 20〜90 | |
| 製品外径 mm | Φ200最大 | |
| ボビン内径 mm | Φ76.2(3in) | |
| 処理能力 | L:基板長さ | 所要時間(sec.) T=(60XL)/V |
| V:ラミネートロール速度 | ||
| 到達真空度 | 53.2Pa(0.4torr) | |
| ラミネートロール | 外径 mm | Φ75 |
| 速度 m/min | 0.4〜4.0 | |
| 温度精度 | 室温〜150±10(ロール表面温度) | |
| バスライン mm | 1,015 ±30/-0 | |
| 真空ポンプ | 7,000L /minベルト式 | |
