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HLM-V570

特長
- 連続ラミネータのスタンダードタイプです。
- フィルム加熱はヒートシューで行います。
- ホットロールタイプもあります(HLM-V540HR)。
仕様
| 基板寸法 | 幅 mm | 150〜500 |
|---|---|---|
| 長さ mm | 160〜以上 | |
| 板厚 mm | 0.6〜3.2 | |
| ドライフィルム | 幅 mm | 140〜500 |
| フォトレジスト厚 μm | 20〜90 | |
| 製品外径 mm | Φ200最大 | |
| ボビン内径 mm | Φ76.2(3in) | |
| 処理能力 | L:基板長さ | 所要時間(sec.) T=(60XL)/V 処理枚数(枚/Hr) N=3,600/T |
| V:ラミネートロール速度 | ||
| 到達真空度 | 2.66KPa(20torr) | |
| ラミネートロール | 外径 mm | Φ50 |
| 速度 m/min | 0.5〜3.5 | |
| 温度精度 | 室温〜170±10(ヒートシュー温度) | |
| バスライン mm | 1,015 ±30/-0 | |
| 真空ポンプ | 7,000L /minベルト式 | |

