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日立エーアイシー株式会社

日立化成工業株式会社

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HLM-V570

特長

  • 連続ラミネータのスタンダードタイプです。
  • フィルム加熱はヒートシューで行います。
  • ホットロールタイプもあります(HLM-V540HR)。

仕様

基板寸法幅 mm150〜500
長さ mm160〜以上
板厚 mm0.6〜3.2
ドライフィルム幅 mm140〜500
フォトレジスト厚 μm20〜90
製品外径 mmΦ200最大
ボビン内径 mmΦ76.2(3in)
処理能力L:基板長さ所要時間(sec.) T=(60XL)/V
処理枚数(枚/Hr) N=3,600/T
V:ラミネートロール速度
到達真空度 2.66KPa(20torr)
ラミネートロール外径 mmΦ50
速度 m/min0.5〜3.5
温度精度 室温〜170±10(ヒートシュー温度)
バスライン mm1,015 ±30/-0
真空ポンプ7,000L /minベルト式

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