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日立エーアイシー株式会社

日立化成工業株式会社

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HLM-A63

特長

  • ダブルカッセット方式により、フィルム交換時のロス時間が少ない為生産効率が向上します。
  • 専用リフターにより、ラミネートロール交換作業が容易となります(オプション)

仕様

基板寸法幅 mm200〜650
長さ mm 200〜650
板厚 mm 0.1〜3.2
ドライフィルム幅 mm 190〜650
フォトレジスト厚 μm 20〜50
製品外径 mm Φ200最大
ボビン内径 mm Φ76.2(3in)
フィルムカッター 一山カッタ方式(オプション合わせ刃方式)
処理能力 L:基板長さ 所要時間(sec.) T=6+(60XL)/V
処理枚数(枚/Hr) N=3,600/T
V:ラミネートロール速度
ラミネートロール 外径 mm Φ90
速度 m/min 1.0〜4.0
温度精度 室温〜150±10(ロール表面温度)
オプション:高精度品 ±5℃
ジャケットロール ±3℃
バスライン mm 950 ±30/-10

国内販売総代理店:日立化成商事株式会社


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